Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy Tender

Title: Elektroniikan Puhdastilan Prosessikemikaalit description: Hankinnan Kohteena Ovat Mikroelektroniikan Komponenttien Valmistuksessa Käytettävät Prosessikemikaalit. Kemikaalien Tulee Olla Laadultaan Soveltuvia Alle 0.5 Μm (viivanleveys) Rakenteiden Valmistamiseen. Hankinnan Kohteena Olevia Kemikaaleja Käytetään Vtt:n Puhdastilassa Espoossa (micronova). Iso 4 Luokan Tutkimus- Ja Kehityskäyttöön Tarkoitetussa Puhdastilassa Valmistetaan Pii-, Lasi- Ja Ohutkalvomikrojärjestelmiä. Vtt:llä On Noin 50 Tutkimusprojektia Samanaikaisesti Käynnissä Puhdastilassa. Lisäksi Puhdastilan Laitteita, Prosesseja Ja Kemikaaleja Käyttää Noin 20 Ulkopuolista Yritystä. Hankinta On Jaettu Neljään Osakokonaisuuteen: • Osakokonaisuus 1: Hapot, Emäkset Ja Liuottimet • Osakokonaisuus 2.1: Az-kehitteet • Osakokonaisuus 2.2: Az-fotoresistit • Osakokonaisuus 3: Seokset Ja Erikoistuotteet Tarjoaja Voi Jättää Tarjouksen Yhteen Tai Useampaan Hankinnan Osakokonaisuuteen. Hankinnan Kohde On Kuvattu Tarkemmin Tarjouspyyntöasiakirjoissa.