IHP GmbH Leibniz Institut F R Innovative Mikroelektronik Tender

Service Support Vertrag Für Einen Excimer Laser Els-7410 Der Leistungsumfang Zum Service Support Betrifft Einen Excimer Laser Vom Hersteller Cymer Ltd. Excimer Laser Details: - Laser Model Els-7410 (1-kammer-laser), Lokal U. Fern Steuerbar (local-panel / Remote Contr.) - Wellenlänge Der Laser-lichtquelle 248 Nm - Laser-gas Kr/f Gas-mixtur (krypton/fluor) Leistungsort Ist Der Reinraum Des Ihp Gmbh In Frankfurt (oder). Dieser Laser Wird Als Lichtquelle Zur Belichtung Von Lack-masken Auf Silizium-wafer, Mit Einem Nikon-scanner, Für Die Deep-uv-belichtung In Der Foto-lithografie Eingesetzt. Der Vertrag Soll Eine Laufzeit Von Drei Jahren Ab Auftragserteilung Haben. Der Service-support-vertrag Muss Inhaltlich Den Betrieb Und Die Einhaltung Der Maschinenspezifikation Des Herstellers Cymer Gewährleisten. Der Service-support Erfolgt Werktags, In Der Zeit Von 08:00 Bis 17:00 Uhr. Der Service-support-vertrag Muss Die Personal-kosten Am Leistungsort Und Eine Vorbeugende Wartung Pro Jahr (anual, Yearly Pm) Beinhalten. Die Anforderung Des Service Supports Vor Ort Bei Maschinenausfall (tool Down Order) Ist Innerhalb Von Maximal 5 Werktagen Vom Auftragnehmer Zu Realisieren. Ersatzteillieferungen Ebenfalls Innerhalb Von 5 Werktagen. Der Bieter / Auftragnehmer Bietet Im Rahmen Seines Angebotes Zum Service-support Ein Budget Zur Bereitstellung Und Lieferung Von Ersatz- Und Verschleißteilen An, Um Die Verfügbarkeit Dieser Abzusichern. Die Vom Auftragnehmer In Anspruch Genommenen Service-leistungen, Deren Kosten, Personal-kosten (anreise U. Unterbringung), Sowie Service- / Reparatur- Details Sind In Einem Service - Report Zu Dokumentieren Und Nach Abschluss An Den Auftraggeber Zu Übermitteln (pdf-document, Per E-mail). Der Bieter Muss Vom Hersteller Cymer Für Die Beauftragten Arbeiten An Hard- Und Software Nachweislich Lizenziert Und Qualifiziert Sein. Entsprechend Der Lizenzvereinbarung Zwischen Dem Hersteller Cymer Und Dem Auftraggeber (ihp Gmbh), Darf Der Auftraggeber Software, Hardware Und Dokumentation Nicht An Dritte (mögliche Bieter In Dieser Ausschreibung) Weitergeben. Diese Müssen Vom Bieter / Auftragnehmer Beschafft Oder Vorgehalten Werden. Die Lizenz-vereinbarung Zwischen Cymer Und Kunde Befinden Sich In Der Vom Hersteller An Den Kunden Ausgehändigten Maschinendokumentation.