COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES Tender

Title: fourniture Et Installation D'un Instrument De Métrologie Par Spectroscopie De Photoélectrons X (xps) Pour Le Contrôle En Ligne De L’épaisseur description: le Cea-leti Désire S’équiper D’un Instrument De Métrologie Par Spectroscopie De Photoélectrons X (xps) Pour Le Contrôle En Ligne De L’épaisseur, De La Composition Et Des États De Liaisons De Matériaux Déposés En Couches Minces Pour Les Nœuds Technologiques 10 Nm Et En-deçà. Cet Équipement Sera Installé En Salle Blanche De Classe Iso 4. Il Devra Permettra La Mesure Automatisée De Structures De Tests De Dimensions (100*100) Μm² Sur Des Plaquettes De Silicium De Diamètres 300 Et 200 Mm. Il Devra Disposer De Trois Sources De Rayons X Monochromatiques De Manière À Couvrir, A Minima, Une Gamme Spectrale Comprise Entre 1.5 Kev Et 5.4 Kev. L’équipement Devra Respecter Les Contraintes Inhérentes À Une Utilisation En Salle Blanche Pour La Métrologie De Procédés Feol (fiabilité, Niveau De Contamination, Respect Des Normes Semi). Le Présent Marché Comporte Les Options Suivantes: Option A Chiffrage Obligatoire : - Option 1 : Système De Connexion Compatible Avec Les Cassettes (conteneurs) Transportant Les Wafers Sous Vide Page 4 Du Cahier Des Charges - Option 2 : Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy (ups), Page 6 Du Cahier Des Charges - Option 3 : Inverse Photoelectron Spectroscopy (ipes), Page 6 Du Cahier Des Charges - Option 4 : Reflected Electron Energy Loss Scattering (reels), Page 6 Du Cahier Des Charges - Option 5 : Formation Maintenance Niveau 1, Page 40 Du Cahier Des Charges - Option 6 : Formation Maintenance Avancée, Page 40 Du Cahier Des Charges Options À Chiffrage Facultatif : - Option 7 : Échangeurs De Chaleur Et Systèmes De Refroidissement, Page 15 Du Cahier Des Charges - Option 8 : Transformateur Électrique, Page 27 Du Cahier Des Charges - Option 9 : 2ème Année Garantie Page 40 Du Cahier Des Charges - Option 10 : Le Prix Du Transport, Assurance Comprise, Selon Les Conditions Dap Cea Grenoble (convention Incoterms Icc 2020)