Tender Results of Technische Universit T Ilmenau, Dezernat Finanzen, Sg Beschaffung
Tender Results of Technische Universit T Ilmenau, Dezernat Finanzen, Sg Beschaffung
Technische Universit t Ilmenau, Dezernat Finanzen, Sg Beschaffung Tender Result
Result Stage: Awarded (AOC Available)
Germany
Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, eine Anlage zur sub-Mikrometer UV-Lithografie mittels direktschreibendem Laserbelichter mit mehreren Wellenlängen auf planaren Substraten sowie auf nichtplanaren Substraten mit ausgeprägtem Höhenprofil insbesondere für die Funktionsintegration für Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnologie zu beschaffen.
Contract Date29 Jul 2019
Contract AmountEUR 325.4 K (USD 342.9 K)
51-60 of 123 active Tender Results