Tender Results of Cea Grenoble

Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de mesure de contamination métallique de surface par VPD-ICPMS. Il devra être constitué d'un module de collecte des éléments par décomposition en phase vapeur (VPD) couplé à un système d'analyse de spectroscopie de masse par plasma à couplage inductif (ICPMS). Cet équipement devra analyser la surface sur des plaques de diamètre de 150mm, 200mm et 300mm et fonctionner en mode entièrement automatisé.

La présente consultation a pour objet la fourniture d'un banc de test batterie 64KW 60V.

Lot 1 : Equipement traitement thermique pour des procédés LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition), en mode batch pour des applications microélectroniques aux noeuds technologiques 10nm et au-delà, sur des plaques de silicium 300mm. Lot 2 : Equipement de traitements thermiques rapides (RTP) pour l'ingénierie de grille de transistors aux noeuds technologiques 10nm et au-delà. Lot 3 : Equipement de traitement thermique pour réaliser des recuits en mode batch sur les briques BEOL de transistors FDSOI au noeud technologique 10nm.

Le marché a pour objet d'assurer le fonctionnement des installations audio et vidéo équipant la Maison MINATEC, sur le site du CEA Grenoble. Ces prestations comprennent notamment : • Les interventions dans la régie de l’amphithéâtre Platine, ainsi que ponctuellement dans les autres espaces • La fourniture, l’installation et la mise en œuvre des compléments d’équipements pour certaines prestations • La maintenance des équipements audio et vidéo de l’ensemble des espaces de la Maison MINATEC • La mise à niveau du matériel équipant les salles

La procédure a pour objet la fourniture d'un équipement de dépôt diélectriques conformes pour applications FEOL/MOL

La procédure a pour objet la fourniture de l’équipement de dépôt diélectriques par PECVD pour remplissage FEOL

La procédure a pour objet la fourniture de l'équipement de dépôt diélectriques low-k pour damascene BEOL

La procédure a pour objet la fourniture d'un équipement de dépôt électrochimique de cuivre damascene BEOL

La procédure a pour objet la fourniture d'un équipement de dépôt métaux par PVD pour empilement de grille.

La présente consultation a pour objet la réalisation des travaux du lot « Téléalarme » dans le cadre du projet de réhabilitation de l’aile 40.07 et de son périmètre au sein du bâtiment 40 situé sur le site du CEA/Grenoble. Cette consultation comprend : - une tranche ferme : réalisation des travaux de la phase A (surface d'environ 750 m2) - une tranche optionnelle : réalisation des travaux de la phase B (surface d'environ 550 m2)