Tender Results of Cea Grenoble

France – Microelectronic machinery and apparatus – Fourniture et installation d’un système de caméra CMOS sur un microscope JEOL NeoARM

France – Microelectronic machinery and apparatus – Fourniture d’un équipement de test automatique sous pointes pour la micro-électronique et pouvant accepter des substrats jusqu’à 300 mm de diamètre.

France – Microelectronic machinery and apparatus – Fourniture d’un équipement de type « wet bench »

France – Research laboratory services – Prestations de réalisation CAO d'un testchip CMOS

France – Pumps – Accord-cadre de fourniture de groupe de pompage et de système d’abattement des effluents intégré

France – Machinery for the heat treatment of gas – Accord-cadre de fourniture de système d’abattement sec des effluents

France – Pumps – Accord-cadre de fourniture de groupe de pompage

La procédure avec négociation a pour objet la création d'une paillasse de nettoyage comprenant 5 bacs d’une capacité de traitement de 25 wafers avec robot de chargement compatible panier chimie type « Entegris PFA 200mm de référence A192-81M-0215 ». Les contraintes dimensionnelles à respecter sont: - Longueur : 304cm, - Profondeur : 145cm, - Hauteur : 217cm.

Les prestations demandées ont pour objet le stockage, la gestion et la distribution des produits chimiques pour les Unités Opérationnelles du CEA Grenoble implantées à Grenoble et au Bourget du Lac (73) pour le site de l’INES. Les prestations supplémentaires éventuelles sont les suivantes : PSE n°1 : phase de prise en charge est levée partiellement dès le démarrage du marché PSE n°2 : phase de réversibilité (2 mois) PSE n°3 : Astreinte nuit en semaine d’ouverture incluant le déclenchement d'une livraison sur appel PSE n°4 : Astreinte nuit en semaine d’ouverture incluant un approvisionnement systématique des sas la nuit PSE n°5 : Astreinte week end, jours fériés, et autres jours de fermeture du CEA, incluant le déclenchement d'une livraison sur appel PSE n°6 : Astreinte week end, jours fériés, et autres jours de fermeture du CEA, incluant un approvisionnement systématique des sas la nuit Les PSE n°1 et 2 sont à chiffrage obligatoire. Les PSE n°3 à 6 sont à chiffrage facultatif.

Le CEA souhaite acquérir un équipement de spectroscopie de plasma induit par laser, noté LIBS, (« Laser Induced Breakdown Spectroscopy ») accouplé à une boite à gants (BAG) sous argon. L’échantillon et une partie de l’équipement seront placés en boite à gants sous atmosphère d’argon pour permettre l’analyse de l’hydrogène, du lithium, du bore, de l’azote, de l’oxygène, et du soufre présents dans les échantillons. Ce LIBS sera dédié principalement à l’analyse des éléments légers contenus dans des échantillons de type couches minces, poudres, céramiques frittées, composites inorganique/organique. Un des principaux objectifs est de pouvoir réaliser, automatiquement, de l’imagerie chimique hyper-spectrale sur toute la surface d’un substrat de 100 x 100 mm² Cet équipement devra être modulaire (configuration évolutive dans le temps) pour permettre notamment de changer ou d’ajouter différents spectromètres (notamment un spectromètre dans l’UV).